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真空系统的基本知识

真空的定义：压力低于一个---压的任何气态空间，采用真空度来表示真空的高低。

真空单位换算：1---压≈1.0×105帕=760mmhg=760托

1托=133.3pa=1mmhg

1bar=100kpa

1mbar=100pa

1bar=1000mbar

tco玻璃=transparent conductive oxide 镀有透明导电氧化物的玻璃

tco材料：

sno2:f(fto fluorine doped tin oxide氟掺杂yang化锡)

zno:al(azo aluminum doped zinc oxide铝掺杂氧化锌)

in2o3:sn(ito indium tin oxide 氧化铟锡)

tco薄膜的制备工艺

1. 薄膜的性质是由制备工艺决定的，改进制备工艺的努力方向是使制成的薄膜电阻率低、透射率高且表面形貌好，薄膜生长温度低，与基板附着性好，耳机配件真空电镀，能大面积均匀制膜且制膜成本低。

2.主要生产工艺：镀膜过程中有气压、基片温度、靶材功率、镀膜速度；刻蚀过程中有hcl浓度、刻蚀速度、刻蚀温度。

真空电镀技术指标

镀层厚度：3～5μm。

镀层硬度：1300～1800hv

真空电镀应用说明

1.刃具、模具等工具的表面强化。在高速钢、硬质合金制造的刃具（如钻头、铣刀、车刀）及模具表面获得硬度的tin、tic、zrn等镀层，提高刃具、模具的耐磨性和外观。

2.机械零件的表面强化。如凸轮、叶片、气门、轧辊表面获得耐磨镀层，延长零件使用寿命。

3.彩色膜钢板生产应用。可在尺寸为1m×2m、厚度为0.2mm～0.6mm的不锈钢板和低碳钢板上获得金黄色tin或其它彩色膜， 耐磨耐蚀性好，彩色膜钢板用于饭店、宾馆、办公大楼等装饰用。

4.日用品的装饰镀。如手表壳、表带、眼镜架、餐具、卫生洁具、吊灯、门把等的装饰。