




蒸镀原理
电阻加热蒸镀法
主要利用电流通过电阻时会产生热能来对薄膜材料间接加热。装置如下
电阻加热蒸镀法
电阻加热法的缺点:
1. 需先加热蒸发源再传热给薄膜材料,蒸发源易与材料起作用或引升杂质;
2. 蒸发源加热温度有限,对高熔点之氧化物大多无法熔融蒸镀;
3. 蒸镀速度有限;
4. 如镀膜材料为化合物,则有分解之可能;
5. 膜质不硬,密度不高,附着性较差。

真空pvd镀膜产品有一定的耐腐蚀性,金属材料在接触酸碱等强腐蚀性物质时,发生化学反应这个是由材料本身特性决定的。因此,平时使用或者保养维护时,pvd电镀,尽量不选用含强酸强碱或去污能力强的清洗剂,金属清洗剂等直接擦洗表面。此外,如果长时间暴露在---环境中,pvd电镀哪里好,或与腐蚀性液体长时间接触,pvd膜层也容易出现脱落等问题。

真空镀膜运用辉光放电(glow discharge)将ya气(ar)离子碰击靶材(target)外表, 靶材的原子被弹出而堆积在基板外表构成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好,可是镀膜速度却比蒸镀慢许多。新式的溅镀设备---都运用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加快靶材周围的ya气离子化,pvd电镀厂家在哪, 造成靶与ya气离子间的碰击机率添加, 进步溅镀速率。
通常金属镀膜大都选用直流溅镀,而不导电的陶磁资料则运用rf沟通溅镀,pvd电镀厂家,---的原理是在真空中运用辉光放电(glow discharge)将ya气(ar)离子碰击靶(target)外表,电浆中的阳离子会加快冲向作为被溅镀材的负电极外表,这个冲击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上构成薄膜。
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