随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展。为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后,pvd电镀价格,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,pvd电镀加工,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理。
除了自然材料以外,适合真空电镀的材料包括金属类材料、软硬塑料(abs料、abs+pc料、pc料等等)、复合材料、陶瓷、和玻璃等。常用于真空电镀表面处理的是铝、其次是银和铜。真空电镀所使用设备通常较为高昂,加上工艺流程复杂,pvd电镀,对环境要求高;为此真空电镀单价比水电镀昂贵。真空电镀受设备内真空环境体积影响,因此对靶材尺寸有一定的要求,不适合大靶材,常见的真空腔室内靶材应小于1.2 * 1.1m(3.94 * 3.3ft),3d工件应小于1.2 * 0.5m(3.94 * 1.6ft)
真空电镀--磁控溅射镀膜技术
一、磁控溅射镀膜-溅射原理:
1.使chamber达到真空条件,pvd电镀哪里有,一般控制在(2~5)e-5torr
2.chamber内通入ar,并启动dc power
3.ar发生电离:ar ? ar+ + e-
4.在电场作用下,电子会加速飞向阳极
5.在电场作用下,ar+会加速飞向阴极的target(靶材),target粒子及二次电子被击出,前者到达substrate(基片)表面进行薄膜成长,后者被加速至阴极途中促成更多的电离。
6.垂直方向分布的磁力线将电子约束在靶材表面附近,延长其在等离子体中的运动轨迹,提高它参与气体分子碰撞和电离过程的几率的作用。
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