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蒸镀原理

电阻加热蒸镀法

主要利用电流通过电阻时会产生热能来对薄膜材料间接加热。装置如下

电阻加热蒸镀法

电阻加热法的缺点:

1. 需先加热蒸发源再传热给薄膜材料，蒸发源易与材料起作用或引升杂质;

2. 蒸发源加热温度有限，真空电镀价格，对高熔点之氧化物大多无法熔融蒸镀;

3. 蒸镀速度有限;

4. 如镀膜材料为化合物，则有分解之可能;

5. 膜质不硬，密度不高，附着性较差。

真空蒸发镀膜中采用的被镀材料称为薄膜材料，简称膜材或镀材。在溅射镀膜中称为靶材如果从所用薄膜材料的种类来看，主要分为以下几种薄膜材料。

（1）纯金属材料

对于纯金属材料，由于它的蒸发（升华）是单一的，因此，淀积到基体上的薄膜材料与从蒸发源上发出来的膜材完全相同。只要避免它在加热蒸发过程中杂志的混入，就可以得到组分单一的纯金属膜层。

（2）金属合金

蒸发合金时会出现分馏（成分的部分分离）。因为不同金属的蒸发速率的差异。

（3）绝缘体和介质

大多数绝缘体和介质蒸发时会发生分解，或与加热器材料发生化学变化。由于两者都和蒸发源温度有关。因此淀积膜的成分随蒸发源温度而变化。